一种微质量传感器

 一种微质量传感器

申请号/专利号:2018102536473                    申请日:2018-03-26

发明人/设计人:李凯、彭志辉

一种微质量传感器。它包括：基底、设于基底上的定电极、吸附层，所述基底上还设有振动结构，所述振动结构包括金属活动板、支撑梁及梁的锚点，所述金属活动板与支撑梁连接，通过锚点固定于基底上，金属活动板同时作为动电极，与定电极构成可变电容。本发明利用微质量物质吸附于振动结构后引起其振动频率变化的原理工作。本发明以活动板和支撑梁构成振动结构，能够有效抑制微质量物质在振动结构上位置对测量结果的影响；以金属活动板作为动电极，具有较大面积，有利于提高动电极上的静电驱动力，有利于提高动、定电极间电容值，有利于提高传感器的抗干扰性。