多功能超快激光微细加工系统

 多功能超快激光微细加工系统

申请号/专利号:2017216156004                          申请日:2017-11-28

发明人/设计人:冯爱新、杨海华、张津超、薛伟、赵莹、程好、陈欢、贾天代、刘勇

本实用新型涉及多功能超快激光微细加工系统，超快激光器输出端设倍频模块，倍频模块输出端有三个波段出光口，第一波段输出光路上设第一光路传输模组，第二波段输出光路上设第二光路传输模组，其输出的光束经合束镜为一束，合束镜输出端依次设第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置，第三波段输出光路上设有第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设第四光路切换装置、第五切换装置和第六反射镜，其中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置、第二光路切换装置和第三光路切换装置的中心对齐，其垂直射出端光路均设光阑，光阑输出端设加工模块。实现数种组合方式的加工模式。