基于PET柔性衬底的背栅黑磷场效应晶体管及制备方法

 基于PET柔性衬底的背栅黑磷场效应晶体管及制备方法

申请号/专利号：201710046400X                 申请日：2017-01-22

发明人/设计人：姜耀华、郑蓓蓉、王权、薛遥、薛伟

本发明公开了一种基于PET柔性衬底的背栅黑磷场效应晶体管，其特征在于：包括依次设置的PET柔性衬底（1）、Au栅电极（3）、HfO2绝缘层（5）和黑磷薄片（6）；黑磷薄片（6）上设有Au漏电报（7）和Au源电极（8），所述PET柔性衬底（1）与Au栅电波（3）之间设有PDMS层（2），Au栅电波（3）与HfO2绝缘层（5）之间设有TiO2缓冲层（4）。本发明不仅保证具有良好的输出特性的性能，而且工艺易于控制，成本低。