接触模式微加速度计

 接触模式微加速度计

申请号/专利号:2018102530477                          申请日:2018-03-26

发明人/设计人:李凯、彭志辉

一种接触模式微加速度计。它包括下基底、上基底，下基底和上基底之间设有支撑柱、薄板与其若干支撑梁及梁的锚点，所述下基底、上基底分别设有下、上定电极，所述定电极表面覆盖有绝缘层，所述薄板的下、上表面分别设有下、上动电极，所述微加速度计具有薄板与动电极受力发生变形但未与绝缘层接触的第一工作状态及薄板与动电极受力变形并与绝缘层接触的第二工作状态。本发明利用加速度力引起动电形变极从而改变其与定电极间电容的原理进行工作。本发明通过位于定电极上的绝缘层防止动、定电极的短路，并由绝缘层提供对活动结构的支撑，故能实现高加速度的测量，梁-圆形薄板组合结构能有效抑制传感器的电容饱和。