环接触高量程电容式微压力传感器

 环接触高量程电容式微压力传感器

申请号/专利号:2018102536609                   申请日:2018-03-26

发明人/设计人:李凯、彭志辉

一种环接触高量程电容式微压力传感器。它包括基底、位于基底上的定电极、薄膜、位于薄膜上的动电极，在由所述基底与所述薄膜闭合后形成的腔室内，基底上设有止挡环，在非工作状态下，止挡环与薄膜之间有间距，在正常工作状态下，除量程初始阶段之外薄膜仅与止挡环作接触，所述薄膜具有阶段状非等厚特性。本发明以止挡环代替传统接触模式电容式微压力传感器中的绝缘层，并因而抑制由电容饱和所导致的过低灵敏度和由摩擦力、范德华力所导致的迟滞性误差，以非等厚阶梯状薄膜代替传统的接触或非接触模式微压力传感器中等厚薄膜，有利于减小弯由应力，本发明中虽然仍有绝缘层覆盖电波，但其仅起防止动、定电极短路作用，其厚度远小于止挡环高度。