3D形貌激光显微系统

设备名称：3D形貌激光显微系统

设备编号：20160908

规格型号：OLS4100

技术参数：OLS4100主机（OLS4100-SAF）：OLS4100激光扫描控制系统，OLS4100控制箱，适用于100*100mm标准台的框架，100*100mm二维电动载物台，OLS4100电动物镜转盘；电脑主机（OLS41-CTL-S-E）；显示屏（OLS41-FPD-2-1）；微分干涉棱镜（U-DICR)；5X物镜（MPLFLN5X）；平场半复消色差物镜5X；参数：数伯孔径0.15，工作距离20nm。

使用功能：本系统是带有共焦光学系统的3D测量激光显微镜，具有高分辨率和高对比度的特性，并且明显改善了光轴方向中的分辨率；提高了获取图像的画质，能够测量行宽和不均匀剖面，并以各种方式显示图像。