面向消费类电子的单片集成的三轴加速度传感器研发
温州市重大科技创新攻关项目
本项目以三轴对流式加速度传感器为研究对象，深入研究其设计原理，和与IC工艺兼容的芯片制作工艺，以制作高灵敏度、低功耗和低成本消费类电子产品用三轴加速度传感器，创新性提出利用与CMOS工艺兼容的表面微机械加工中，复合薄膜内应力的不同，使得布置有热电堆的悬臂梁向下弯曲，从而检测Z 轴（上下方向）的加速度的两组热电堆分列在加热器的上下两测，这样当器件受到上下方向的加速度时，上下位置的热电堆处温度发生变化，从而来测试Z轴的加速度。
项目致力于研究表面微机械加工技术，产业化的成功将为消费类电子产品提供所需要的要求高、功耗低、精度高的传感器模块。在理论上解决多种薄膜的优化制备和完整的表面微机械加工工艺研究等，因此项目的实施对提升我国在微机电系统领域的竞争力，以及在理论上的突破都有极大的意义。产业化的成功，市场潜力极大，将推动中国微型传感器技术的进步，为振兴中国的仪器仪表工业，发展民族工业做出积极贡献。
